渦旋干泵，又稱為干式渦旋泵或干式真空泵，是一種能在大氣壓到10-2Pa的壓力范圍內(nèi)工作的設(shè)備。它采用渦旋定子和轉(zhuǎn)子的運動來排氣，其內(nèi)部兩個具有相同形狀的渦旋略微偏離中心，彼此接觸相對方向運動，被bu獲在新月形空間中的氣體被壓向中心并從中心的孔中排出。這種設(shè)計使得渦旋干泵具有低振動和低噪音的特點，并且其ji限壓力可以達到1Pa。
渦旋干泵的優(yōu)勢：
1. 無油操作：渦旋干泵提供干燥無油的真空環(huán)境，對于那些需要干凈或無油污染的應(yīng)用非常適合。
2. 維護成本低：由于操作無需油液，所以維護和清潔方便，節(jié)省了更換油液和處理含油廢物的費用。
3. 環(huán)保：排放的氣體不含有油蒸氣，是綠色環(huán)保的選擇。
4. 抗化學(xué)品性：很多渦旋干泵設(shè)計有很好的抗化學(xué)品和腐蝕性氣體的能力。
5. 工作范圍寬：可在廣泛的壓力范圍內(nèi)工作。
6. 可靠性高：結(jié)構(gòu)簡單，無需油液潤滑的部件，因此可靠性較高。
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